光學(xué)鍍膜機(jī)主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。

        光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對(duì)金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟?，材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來(lái)的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。

        光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。

一、電子槍安裝與維護(hù)

        電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成一個(gè)電子槍控制電柜。

        電子槍控制電柜內(nèi)含有高壓，在工作前必須保證柜門(mén)各個(gè)聯(lián)鎖裝置正常工作，非專業(yè)人員不得打開(kāi)電柜門(mén)，電子槍在工作時(shí)不得打開(kāi)電柜門(mén)，整個(gè)電柜必須有良好的接地并與機(jī)臺(tái)接地連接。

        電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來(lái)固定，周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體，否則會(huì)影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發(fā)射為好。

        電子槍蒸發(fā)源是一個(gè)精密機(jī)械加工體，在工作時(shí)必須保證有良好的冷卻水，如過(guò)高的溫度會(huì)影響電子束的成型及各密封圈的性能。

（一）電子槍頭
電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行，其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。
電子槍槍頭有使用一段時(shí)間后，會(huì)因?yàn)榻M件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。

（二）坩堝的維護(hù)
        拆坩堝之前，請(qǐng)先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

蒸發(fā)源裝卸順序：
1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個(gè)螺絲。3.拆坩堝傳動(dòng)連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個(gè)固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運(yùn)到一個(gè)穩(wěn)定平整的工作臺(tái)。6.拆落坩堝蓋板四個(gè)螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)四個(gè)螺絲10.抬起蒸發(fā)源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個(gè)螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)軸，檢查轉(zhuǎn)動(dòng)軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過(guò)順序來(lái)進(jìn)行。

（三）導(dǎo)磁板及掃描圈的維護(hù)
       導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護(hù)，如需拆卸，請(qǐng)注意永磁鐵的極向，及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實(shí)，請(qǐng)不要使用硬尖的東西撬動(dòng)，否則有可能會(huì)造成損壞。

二、光路的檢修與維護(hù)

       光路調(diào)整的先決條件是：確保直流穩(wěn)定電源、調(diào)制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚儀及各專用電纜的完好和正確接入。特別是光電轉(zhuǎn)換放大器、光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的接地點(diǎn)，必須單獨(dú)歸至主機(jī)接點(diǎn)牢固接地。

三、光學(xué)鍍膜機(jī)的清洗

       設(shè)備使用一個(gè)星期后（三班），因鍍料除鍍?cè)诠ぜ砻?外，亦因無(wú)定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料，并越鍍?cè)胶?，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來(lái)越慢。此時(shí)，應(yīng)對(duì)工作室及襯板進(jìn)行清洗，如不必要拆落來(lái)的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里，氫氟酸和水的比例看需要浸泡時(shí)間長(zhǎng)短以及不傷襯板為原則。

注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時(shí)，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

        因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會(huì)造成清潔困難，可使用噴沙等方法來(lái)清潔。

四、光學(xué)鍍膜機(jī)的保養(yǎng)

（一）定期更換擴(kuò)散泵油
       擴(kuò)散泵油使用一段時(shí)間，約二個(gè)月（兩班），因在長(zhǎng)期高溫環(huán)境，雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴(kuò)散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴(kuò)散泵油起反應(yīng)，擴(kuò)散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長(zhǎng)抽氣時(shí)間。在我們認(rèn)為時(shí)間延長(zhǎng)得太多時(shí)，應(yīng)予更換。

（二）真空泵
       機(jī)械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月，油質(zhì)會(huì)發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設(shè)備，在使用頭半個(gè)月即應(yīng)更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會(huì)加劇磨損。

（三）清潔衛(wèi)生
       定期將設(shè)備及其周?chē)h(huán)境衛(wèi)生搞好，常保持設(shè)備內(nèi)外清潔，將設(shè)備周?chē)h(huán)境整理有條，有一個(gè)好的工作環(huán)境，以保安全。